发明名称 Method of forming a deep trench
摘要
申请公布号 EP0964456(B1) 申请公布日期 2006.01.04
申请号 EP19990108741 申请日期 1999.05.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MICHAELIS, ALEXANDER;RANADE, RAJIV;FLIETNER, BERTRAND
分类号 H01L21/302;H01L29/94;H01L21/02;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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