发明名称 Electro-osmotic pumps and micro-channels
摘要 The present disclosure relates generally to microelectronic technology, and more specifically, to an apparatus used for the cooling of active electronic devices utilizing electro-osmotic pumps and micro-channels.
申请公布号 US6981849(B2) 申请公布日期 2006.01.03
申请号 US20020323084 申请日期 2002.12.18
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 KIM SARAH E.;LIST R. SCOTT;MAVEETY JAMES;MYERS ALAN;VU QUAT T.;PRASHER RAVI;MAHAJAN RAVINDRANATH V.
分类号 F04B19/00;H01L23/473 主分类号 F04B19/00
代理机构 代理人
主权项
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