半导体元件及其制造方法

摘要

一种具矽基板之半导体元件，其中一活动区在两个元件隔离膜之间形成，一个闸在活动区之表面形成；该矽基板具有一横向蚀刻部分，位于活动层表面下，靠近元件隔离膜的那一面；一绝缘膜在前述矽基板之横向蚀刻部分上形成，一导电电极在前述绝缘膜上形成，藉此一外部电压实施，用以调整截止电压；前述元件隔离膜在导电电极上形成，元件隔离膜和导电电极之间有一些(或没有)空腔。