具有线性驱动单元之真空封闭装置

摘要

本发明系相关于一种真空处理装置，以及一种用于密封之装置，特别是将一孔洞以真空密封封闭，尤其是长条状狭缝或矩形孔洞，更佳地，其孔洞的长度系为宽度的倍数，特别地，系关于真空处理装置的固定器排列，该装置具有封闭件(2)，以及用于该封闭件的线性驱动单元(3、4、5)，经由一个转换运动，可将该封闭件由一开放点移动至一关闭点，该封闭件具有一封闭表面，其位于一平面(16)，而在关闭点，使其与该孔洞侧之一反相封闭表面接触，该平面之动向系与该转换运动(14)之方向垂直，并与该孔洞之法线(13)夹一倾斜角。