在半导体装置之多闸极电晶体上形成闸极电极的方法

摘要

一种在半导体装置之多闸极电晶体上形成闸极电极的方法。该方法首先提供基底，其包含设于绝缘层上之半导体鳍片，及该半导体鳍片上形成之闸极介电质。并于该闸极介电质及该半导体鳍片上形成闸极材质，其形成之上表面不平坦。再将掺杂物植入该闸极材质中，并执行退火制程以活化该闸极材质之掺杂物。继之，执行平坦化制程使得该上表面平坦化。