微影装置及元件制造方法

摘要

一种微影装置，包含：一辐射系统，其用于提供一投影辐射束；一第一支撑结构，其用于支撑图案形成器件，该图案形成器件用于依照一所要图案来图案化该投影束；一第二支撑结构，其用于支撑一基板；及一投影系统，其用于将该具图案之投影束投影在该基板之一目标部分上；至少一气体产生结构，其用以在一延伸于该下方表面与该基板之间之体积中产生一经调整之气流。该气体产生结构被配置成可产生一气流，其被导向一大致定位在该投影系统之一下方表面上方之上方体积。该结构进一步包含一导引元件，其用以将该气流导引至一大致定位在该投影系统之下方表面下方之下方体积。