微细图案修正装置以及微细图案之缺陷修正方法

摘要

〔课题〕提供一种微细图案修正装置，可在短时间内修正微细图案的缺陷，装置价格低、装置设置的面积小且修正品质高。〔解决手段〕该微细图案修正装置包括一修正头部(6)、对修正头部(6)定位的XYZ工作台7～9以及搭载被修正基板10的玻璃定盘11。修正头部(6)具有照射雷射光束而除去缺陷的雷射装置(1)、观察缺陷的观察光学系(2)、将修正液涂布于缺陷上的涂布单元(3)以及研磨缺陷的带状研磨单元(5)，以及使工作台相对于修正头部移动并实施三度空间定位的定位装置。