非球面绕射镜片之模仁及其制造方法

摘要

本发明系一种非球面绕射镜片之模仁，其包括底材及形成于底材上之绕射光学图案层，该底材具有一非球面曲面，该图案层具有凹凸结构之绕射条纹，其中该图案层之凹凸结构之绕射条纹与预制造之非球面绕射镜片之绕射条纹相反。其制造方法包括提供底材、涂布光阻、将绕射光学图案刻于光阻上、对光阻曝光、显影、蚀刻、清洗等步骤。