检查用光源装置

摘要

一种检查用光源装置，其会对多数的被检查受光元件发出照射光，包含：成形部，将该照射光的射出面，成形为至少与该多数被检查受光元件之受光部的排列的形状约略相似的形状；成像光学系统，将来自该成形部的射出光，成像于该被检查受光元件的受光部。藉以防止照射范围变广，实现能够检查邻接被检查受光元件的检查用光源装置。