利用原子层沉积填充元件间裂口之方法

摘要

一种填充一对形成于基材之上之元件间之裂口的方法。利用了原子层沉积法在一对元件间的沟渠或裂口中加入垫塞物，以部分地填充沟渠或缺口。最后沟渠或裂口会为总体填充程序所填充。