发明名称 运用于细间距线路制程之雷射切割技术
摘要 本发明揭露一种雷射切割技术,适用于细间距线路制程中,至少包括如下步骤。首先,在基板上需雷射切割区域布置一金属层,接着,将此金属层之一端连接一量测仪器。以雷射切割此金属层至一预定线宽与线距,以得到至少一线路于此金属层上,其中线路之一端系与量测仪器相接。最后,量测此线路之阻抗值,以检查是否符合所需的阻抗值。
申请公布号 TW200600244 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW093119140 申请日期 2004.06.29
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 洪志斌;邱基综
分类号 B23K26/00 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号