| 主权项 |
1.一种静电消除器之升降承载机构,用以设置在承 载玻璃基板(substrate)之卡匣(cassette)外侧,包括有: 垂直设立之两支平行导杆、两端分别设有一导块 之至少一静电消除器(ionizer bar),其中,该静电消除 器可藉由其两端之导块分别套接于两导杆上,且当 该二导杆接受驱动而同步旋转时,透过导块结合于 导杆上的静电消除器即会沿着该导杆轴向做升降 运动。 2.如申请专利范围第1项所述静电消除器之升降承 载机构,其中该导杆为一螺杆,又该导块系为套接 于其上之螺帽。 3.一种静电消除器之升降承载机构,用以设置在承 载玻璃基板(substrate)之卡匣(cassette)外侧,包括有: 垂直设立之两支平行导杆; 至少一水平载台,用以承载静电消除器(ionizer bar), 且其两端分别设有一导块以分别套接在一导杆上; 一传动连杆,同时与该二导杆承接,用以驱使该二 导杆旋转,并且使透过该导块结合于导杆上的水平 载台沿着该导杆轴向做升降运动;及 一驱动马达,用以提供该传动连杆所需动力。 4.如申请专利范围第3项所述静电消除器之升降承 载机构,其中该导杆为一螺杆,又该导块系为套接 于其上之螺帽。 5.如申请专利范围第3项所述静电消除器之升降承 载机构,其中该传动连杆与该二导杆藉由一垂直动 力传递机构承接。 6.如申请专利范围第3项所述静电消除器之升降承 载机构,其中该驱动马达系为一伺服马达。 7.如申请专利范围第3项所述静电消除器之升降承 载机构,其中该驱动马达更结合有一减速器。 图式简单说明: 第一图,系为习知将静电消除器应用于玻璃基板( substrate)卡匣之立体示意图;及 第二图,系为本创作静电消除器之升降承载机构之 立体示意图,并且显示其应用于玻璃基板(substrate) 卡匣上之状态。 |
