发明名称 光电式表面距离与倾斜角度量测仪
摘要 一种光电非接触式的表面距离与倾斜角度量测装置,平行光源经过壹个多光孔遮罩(Mask),产生平行多光束之光,将此平行多光束之光投射至被量测表面,再以一组或多组之多光点位置感测装置如CCD等,撷取投射至被量测表面之多光点位置,经处理运算后,即可求得被量测表面之相对距离与此表面之倾斜角度。
申请公布号 TWI246585 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW093100641 申请日期 2004.01.12
申请人 修芳仲;李瑞宗 LEE, RUEY TSUNG 台北县新店市宝元路1段74巷10号 发明人 修芳仲;李瑞宗
分类号 G01B9/10 主分类号 G01B9/10
代理机构 代理人
主权项 1.一种表面距离与倾斜角度量测装置,系包括:平行 光束发光器,遮罩固定器用以扶持可替换式之多光 孔遮罩,多光孔遮罩,一组或多组之多光点位置感 测器;由发光器所发射之平行光束,穿过多光孔遮 罩后将光线投射至被量测表面,经由一组或多组之 多光点位置感测器撷取被量测表面之多光点位置 形状,经计算分析后,可量测待测面之高度与倾斜 角度。 2.如申请专利范围第1项之表面距离与倾斜角度量 测装置,其中多光孔遮罩之式样可有各种之几何形 状,可由小圆孔、方槽孔等排列组合而成,如以九 个小圆孔等距排列成一"田"字型之型式,以方槽孔 所组成之"田"字型之型式,以五个小圆孔所组成之" 十"字型之型式等,可应用于表面距离与倾斜角度 量测装置。 3.如申请专利范围第1项之表面距离与倾斜角度量 测装置,其中平行光束发光器与多光孔遮罩,可组 合成为一个平行多光束发光器,可投射平行多光束 于被量测表面。 4.如申请专利范围第3项之表面距离与倾斜角度量 测装置,其中平行多光束发光器,亦可由发光装置 将光导入多支光纤中,将多支光纤之出光口排列成 如申请专利范围第2项之多光孔遮罩式样,可产生 平行多光束之投射光。 5.如申请专利范围第3项之表面距离与倾斜角度量 测装置,其中平行多光束发光器,可将数个小直径 光束之平行光发光器(如小型雷射发光器),排列成 如申请专利范围第2项之多光孔遮罩式样,也可发 射出平行多光束之投射光。 图式简单说明: 第1图系习知之三角光学或雷射表面之距离的量测 方法之示意图。 第2图系本发明之组立示意图。 第3图系本发明之多光孔遮罩型式一,九个小圆孔 等距排列成一"田"字型之型式。 第4图系本发明之多光孔遮罩型式二,五个小圆孔 等距排列成一"十"字型之型式。 第5图系本发明之多光孔遮罩型式三,九个方槽孔 排列成一"田"字型之型式。 第6图系本发明之"十"字型多光孔遮罩,投射于水平 与双倾斜量测表面所形成之多个光点。 第7图系本发明之"十"字型多光孔遮罩,投射于水平 与双倾斜量测表面,于位置感测器上成像所形成之 多个光点。 第8图系本发明之平行多光束发光器,于出光口将 多支光纤排列成排列"十"字型,或将数个光束直径 微小之平行光发光器(如小型雷射发光器)排列"十" 字型。
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