电浆处理方法及后处理方法

摘要

本发明的课题是在于提供一种不仅处理室内，而且还能够确实防止搬送系统的腐蚀之电浆处理方法及后处理方法。亦即，本发明的电浆处理方法，系对处理室内的被处理体进行电浆处理者，其特征包含：第1电浆处理，其系藉由使至少含卤元素的气体电浆化而生成的第1电浆来处理被处理体；第2电浆处理，其系于第1电浆处理后，在上述处理室内供给含氧的气体，使生成第2电浆来处理上述处理室及被处理体；及第3电浆处理，其系藉由使至少含氮及氢的气体电浆化而生成的第3电浆来处理第2电浆处理后的被处理体。