多成份沉积

摘要

物理气相沉积系藉由自一或多种有机金属化合物之化学气相沉积增强以沉积多成份材料。该等有机金属化合物可为羰基化物。该方法可用于沉积涂层及修补于超级合金涡轮引擎部件上之材料。