发明名称 TFT LCD面板制程生产线之自动光学检测机台及其光源配置方法
摘要 本发明系提供一种TFT LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)面板制程生产线之自动光学检测机台,其包括:迷你洁净室;至少一龙门结构,系被放置于该迷你洁净室中,该龙门结构上具有至少一摄像装置;至少一空气微粒滤清器,系置于该迷你洁净室之上方顶盖处;面板移动载具,其系置于该摄像装置之下方,用以承载该待测面板;至少一灯箱,该灯箱中具有至少一发光源以提供摄像所需之照明;以及至少一光导管,将该灯箱发出之光传导至位于该迷你洁净室中之面板移动载具上方之待测面板处;俾,当该光导管所传导之光照射于该待测面板上时,藉由该摄像装置之取像即可判断该待测面板上是否有异物或缺陷,且于灯箱故障时,不需打开该迷你洁净室即可更换发光源。此外,本案亦提供一种TFT LCD面板制程生产线之自动光学检测机台之光源配置方法。
申请公布号 TW200600773 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW093117667 申请日期 2004.06.18
申请人 晶彩科技股份有限公司 发明人 钱家錡;林燕松;蔡显章;倪仁显
分类号 G01N21/88;G01J1/02 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人 罗炳荣
主权项
地址 新竹县竹北市台元街28号