光感测器及固态摄影装置

摘要

一种光感测器，系具备：形成有受光部4(用以使入射光进行光电转换者)及讯号读取部5(用以读取蓄积于该受光部之电荷者)之半导体基板3、遮光膜1(形成于该受光部上之具有开口部2者)、与透光性绝缘膜9(将该开口部填塞而形成者)者。该遮光膜的开口部之最小宽度W、于该绝缘膜中自该遮光膜的开口部最上部起至该受光部区域之填塞部分之平均折射率n、及该受光部之有感波段的最大波长λmax，系设定为满足2．n．W≧λmax的关系。而于减小受光部的开口率时，可抑制有效波段的长波长侧之感度降低与分光特性的变化。