发明名称 记忆体装置及其制造方法
摘要 一种记忆体装置。于一实施型态中,该记忆体装置包括复数之电晶体,各电晶体包括:(1)复数之掺杂区其中一区的一部份,而该等掺杂区形成于基材中;以及(2)复数之第一导体其中一导体的一部份,该等第一导体皆延伸于该等复数之掺杂区其中一区之上,而该等复数之第一导体包括于第一金属层中。该记忆体装置尚包括第二金属层,其包括复数之第二导体,该等第二导体皆作为部份该等复数之电晶体之内连线。该记忆体装置亦包括第三金属层,其包括复数之位元线,该等位元线皆作为部份该等复数之电晶体之内连线。该记忆体装置亦包括第四金属层,其包括复数之字元线,该等字元线皆作为部份该等复数之电晶体之内连线。
申请公布号 TW200601553 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW094115018 申请日期 2005.05.10
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 王屏薇
分类号 H01L27/11;H01L21/8244 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号