双轴元件及其制作方法

摘要

本案在于提供一种双轴元件及其制作方法。该双轴元件包含一第一基板，系具有复数个电极；一第一接合层，系位于该第一基板上；一作动层，具有一环部、一致动部、一第一转轴以及一第二转轴，系藉由该第一接合层而与该第一基板相连；一第二接合层，系与该作动层相连；以及一保护盖，系藉由该第二接合层而与该作动层相连。其中该第一基板、该第一接合层、该作动层、该第二接合层以及该保护盖系共组成一真空空腔，而该致动部与该第一转轴系位于该真空空腔之中，且该第二转轴系延伸至该真空空腔之外。