| 摘要 |
一种声纹资料监控系统，应用于一化学机械研磨设备中，包含一声纹资料收录装置、一设备状况收集装置以及一比对装置。声纹资料收录装置，装设于该化学机械研磨设备之一侧，用以收集该化学机械研磨设备进行研磨制程时所产生之声纹资料。设备状况收集装置，用以利用一通讯连结与该化学机械研磨设备进行通讯连接，以获得代表该化学机械研磨设备目前状态之复数个设备制程参数。比对装置，内建一标准声纹资料库，并连结该声纹资料记录装置以及该设备状况收集装置，以根据该设备状况收集装置所收集之该等设备制程参数，获得相对应之一标准声纹资料，进而比对该标准声纹资料以及该声纹资料收录装置所收集之声纹资料，判断该研磨制程是否正常。本发明可藉由声纹资料之比对，即时的得知目前制程是否异常，进而供制程工程师进行正确的处理。 |
