铜金属导线抗氧化方法

摘要

一种铜金属导线抗氧化方法，首先于基底形成一铜晶种层，并施加硷性溶液于上述铜晶种层表面。接着，执行电化学电镀制程以于上述铜晶种层形成一铜层，并于上述铜层表面施加硷性溶液。接下来，于上述铜层执行化学机械研磨制程，最后并于上述铜层表面施加硷性溶液，以减少上述铜层表面之铜氧键结。