| 发明名称 |
PROCEDE DE MESURE DE PARAMETRES PHYSIQUES D'AU MOINS UNE COUCHE D'UN MATERIAU AUX DIMENSIONS MICROMETRIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2857751(B1) |
申请公布日期 |
2005.12.30 |
| 申请号 |
FR20030008782 |
申请日期 |
2003.07.18 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ROUVIERE JEAN LUC;CLEMENT LAURENT;PANTEL ROLAND |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/295;(IPC1-7):G01N23/00 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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