APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING MICROSTRUCTURES IN REFLECTED OR TRANSMITTED INFRARED LIGHT

摘要

Zur Untersuchung von mikrostrukturierten Proben z.B. eines Wafers (28) werden bislang meist Untersuchungseinrichtungen und -verfahren eingesetzt, die im visuellen bzw. UV-Auflichtverfahren arbeiten. Um die Einsatzmöglichkeiten dieser Einrichtungen zu erweitern, d.h. insbesondere Strukturdetails darzustellen, die im VIS bzw. UV infolge Nichttransparenz von Abdeckschichten oder Zwischenmaterialien nicht sichtbar sind, z.B. von beidseitig strukturierten Wafern, wird im Auflicht IR-Licht verwendet und gleichzeitig eine IR- Durchlichtbeleuchtung (52) geschaffen, die u.a. eine deutliche Kontrastverbesserung des IR-Bildes bietet. Damit kann die Probe gleichzeitig im IR-Auf- und /oder Durchlicht und im VIS-Auflicht dargestellt werden.