发明名称 A method for detecting probing stripes
摘要
申请公布号 SG117490(A1) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 SG20040002723 申请日期 2004.04.23
申请人 SYSTEMS ON SILICON MANUFACTURING CO. PTE. LTD. 发明人 TAN BENG GHEE
分类号 G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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