Mikromechanisches HF-Schaltelement sowie Verfahren zur Herstellung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches HF-Schaltelement, bei dem ein freistehendes bewegliches Element so über einer metallischen Fläche auf einem Substrat angeordnet ist, dass es durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der metallischen Fläche und dem beweglichen Element zur metallischen Fläche gezogen wird, auf der eine dielektrische Schicht aufgebracht ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung derartiger mikromechanischer HF-Schaltelemente, bei dem die dielektrische Schicht auf der metallischen Fläche abgeschieden wird. Das vorliegende Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass als dielektrische Schicht eine piezoelektrische AlN-Schicht mit einer kolumnaren, polykristallinen Struktur und einer Textur auf der metallischen Fläche abgeschieden wird. Mit dem vorliegenden Verfahren sowie dem damit hergestellten HF-Schaltelement werden ein deutlich verringertes Charging des Dielektrikums und eine erhöhte Langzeitstabilität des Schaltelements erreicht.