发明名称 Gassensor-Modul zur spektroskopischen Messung einer Gaskonzentration
摘要 Die Erfindung betrifft ein Gassensor-Modul für spektroskopische Messungen, das mindestens aufweist: DOLLAR A einen spektroskopischen Gassensor (2) mit einem eine mikrostrukturierte Messstruktur (11) aufweisenden Sensor-Chip (3) und einem die Messstruktur abdeckenden IR-transparenten Kappenchip (5), DOLLAR A einem Premold-Gehäuse (22) mit einem Gehäuseboden (22a) und einem Gehäuserand (22b), an dem ein Deckel (30) mit einer oberhalb der Messstruktur (11) angeordneten Blendenöffnung (32) befestigt ist, DOLLAR A einen zwischen dem Deckel und dem Kappenchip vorgesehenen Filterchip (9) und DOLLAR A einen teilweise in das Premold-Gehäuse eingespritzten Leadframe (23) mit mehreren Leads (24) mit Anschlussbeinchen (24a) zur Kontaktierung an einem Substrat und mit Kontaktpads (24b), die Kontaktpads (17) des Gassensors kontaktieren, DOLLAR A wobei die Anschlussbeinchen (24a) von dem Gehäuserand aus nach oben gebogen sind. DOLLAR A Das Gassensor-Modul kann mit seinen Anschlussbeinchen an einem Substrat derartig montiert werden, dass die Messstruktur mit dem Filterchip direkt einer Substratöffnung gegenüberliegt. Es wird bei geringer Fertigungszeit und hoher Strahlungsabschirmung eine geringe Dimensionierung der gebildeten Sensor-Einheit erreicht.
申请公布号 DE102004031316(B3) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 DE200410031316 申请日期 2004.06.29
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 LUDWIG, RONNY
分类号 G01J5/00;G01N21/05;G01N21/31;G01N21/35;(IPC1-7):G01N21/35 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
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