摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Gassensor-Modul für spektroskopische Messungen, das mindestens aufweist: DOLLAR A einen spektroskopischen Gassensor (2) mit einem eine mikrostrukturierte Messstruktur (11) aufweisenden Sensor-Chip (3) und einem die Messstruktur abdeckenden IR-transparenten Kappenchip (5), DOLLAR A einem Premold-Gehäuse (22) mit einem Gehäuseboden (22a) und einem Gehäuserand (22b), an dem ein Deckel (30) mit einer oberhalb der Messstruktur (11) angeordneten Blendenöffnung (32) befestigt ist, DOLLAR A einen zwischen dem Deckel und dem Kappenchip vorgesehenen Filterchip (9) und DOLLAR A einen teilweise in das Premold-Gehäuse eingespritzten Leadframe (23) mit mehreren Leads (24) mit Anschlussbeinchen (24a) zur Kontaktierung an einem Substrat und mit Kontaktpads (24b), die Kontaktpads (17) des Gassensors kontaktieren, DOLLAR A wobei die Anschlussbeinchen (24a) von dem Gehäuserand aus nach oben gebogen sind. DOLLAR A Das Gassensor-Modul kann mit seinen Anschlussbeinchen an einem Substrat derartig montiert werden, dass die Messstruktur mit dem Filterchip direkt einer Substratöffnung gegenüberliegt. Es wird bei geringer Fertigungszeit und hoher Strahlungsabschirmung eine geringe Dimensionierung der gebildeten Sensor-Einheit erreicht.
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