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发明名称 AQUEOUS EDGE BEAD REMOVER
摘要 <p>The present invention relates to an edge bead remover composition for a photoresist composition disposed as a film on a surface comprising from about 0.5 to about 8 Normal solution of a basic compound.</p>
申请公布号 WO2005124465(A1) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 WO2005IB02175 申请日期 2005.06.16
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 DAMMEL, RALPH, R.;MEYER, STEPHEN;SPAK, MARK, A.
分类号 G03F7/16;G03C5/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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