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发明名称 Low temperature cvd chamber cleaning using dilute nf3
摘要
申请公布号 SG117563(A1) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 SG20050002875 申请日期 2005.05.05
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ROBERT GORDON RIDGEWAY;BING JI;PETER JAMES MAROULIS
分类号 B08B7/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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