Lithographischer Projektionsapparat mit kollisionsvermeidender Vorrichtung
摘要
申请公布号
DE60024211(D1)
申请公布日期
2005.12.29
申请号
DE20006024211
申请日期
2000.12.19
申请人
ASML NETHERLANDS B.V., VELDHOVEN
发明人
KWAN, DR.;VAN DE PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS;ARIENS, ANDREAS BERNARDUS GERARDUS;MUNNIG SCHMIDT, ROBERT-HAN;HOOGKAMP, JAN FREDERIK;BUIS, EDWIN JOHAN
