DEVICE FOR CARBON DEPOSITION

摘要

Es wird eine Vorrichtung zur Kohlenstoffabscheidung mittels einer gepulsten plasmagestützten Vakuum-Lichtbogenentladung vorgeschlagen, die eine Anode (5), eine aus Kohlenstoff bestehende Targetkathode (10), eine Pulsenergiequelle (15) und mindestens zwei Zündeinheiten (20) aufweist. Die mindestens zwei Zündeinheiten (20) sind im Randbereich der Targetkathode (10) angeordnet und weisen jeweils zwei planare metallische Elektroden (25, 30) und eine zwischen den Elektroden (25, 30) angeordnete planare Isolatorkeramik (35) auf. Durch die planare Form der Zündeinheiten (20) und ihre Anordnung an der Targetkathode (10) wird eine homogene Nutzung der gesamten Targetfläche und eine homogene Beschichtung von Werkstücken ermöglicht.