发明名称 FABRICATING METHOD OF METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050122427(A) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 KR20040047525 申请日期 2004.06.24
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 NAM, SANG WOO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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