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发明名称 SPUTTER DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 EP1078111(B1) 申请公布日期 2005.12.28
申请号 EP19990921695 申请日期 1999.05.05
申请人 KAUFMAN & ROBINSON, INC.;COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION 发明人 KAHN, JAMES, R.;KAUFMAN, HAROLD, R.;ZHURIN, VIACHESLAV, V.;BALDWIN, DAVID, A.;HYLTON, TODD, L.
分类号 C23C14/34;C23C14/46;H01J37/317;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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