发明名称 磷化硼基化合物半导体器件、其制造方法以及发光二极管
摘要 一种器件特性优良的磷化硼基半导体器件,其具有III族氮化物半导体层和磷化硼层的结结构。磷化硼基化合物半导体器件具有异质结结构,所述结构包括III族氮化物半导体层和磷化硼层,其中III族氮化物半导体层的表面具有(0.0.0.1.)晶面,以及磷化硼层是{111}-磷化硼层,其具有在III族氮化物半导体层的(0.0.0.1.)晶面上层叠的与(0.0.0.1.)晶面平行的{111}晶面。
申请公布号 CN1714455A 申请公布日期 2005.12.28
申请号 CN200380104015.2 申请日期 2003.11.27
申请人 昭和电工株式会社 发明人 宇田川隆
分类号 H01L29/205;H01L29/20;H01L33/00 主分类号 H01L29/205
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种具有异质结结构的磷化硼基化合物半导体器件,所述结构包括III族氮化物半导体层和磷化硼层,其中所述III族氮化物半导体层的表面具有(0.0.0.1.)晶面,以及所述磷化硼层为{111}-磷化硼层,其具有在所述III族氮化物半导体层的(0.0.0.1.)晶面上层叠的与所述(0.0.0.1.)晶面平行的{111}晶面。
地址 日本东京都