发明名称 |
磷化硼基化合物半导体器件、其制造方法以及发光二极管 |
摘要 |
一种器件特性优良的磷化硼基半导体器件,其具有III族氮化物半导体层和磷化硼层的结结构。磷化硼基化合物半导体器件具有异质结结构,所述结构包括III族氮化物半导体层和磷化硼层,其中III族氮化物半导体层的表面具有(0.0.0.1.)晶面,以及磷化硼层是{111}-磷化硼层,其具有在III族氮化物半导体层的(0.0.0.1.)晶面上层叠的与(0.0.0.1.)晶面平行的{111}晶面。 |
申请公布号 |
CN1714455A |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
申请号 |
CN200380104015.2 |
申请日期 |
2003.11.27 |
申请人 |
昭和电工株式会社 |
发明人 |
宇田川隆 |
分类号 |
H01L29/205;H01L29/20;H01L33/00 |
主分类号 |
H01L29/205 |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
杨晓光;李峥 |
主权项 |
1.一种具有异质结结构的磷化硼基化合物半导体器件,所述结构包括III族氮化物半导体层和磷化硼层,其中所述III族氮化物半导体层的表面具有(0.0.0.1.)晶面,以及所述磷化硼层为{111}-磷化硼层,其具有在所述III族氮化物半导体层的(0.0.0.1.)晶面上层叠的与所述(0.0.0.1.)晶面平行的{111}晶面。 |
地址 |
日本东京都 |