发明名称 |
氮化硅电荷捕获存储器件 |
摘要 |
本发明是一种擦除氮化物存储器件的方法及系统。在本发明的一个实施例中,在半导体衬底(520)中形成隔离的P型阱(510)。在该隔离的P型阱(510)中形成多个N型杂质集中区(550、555),且在这些N型杂质集中区(550、555)的两个之间制造氮化物存储单元(560)。最后,将电气接触(590)连接到该隔离的P型阱(510)。 |
申请公布号 |
CN1714457A |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
申请号 |
CN03825466.2 |
申请日期 |
2003.07.10 |
申请人 |
先进微装置公司 |
发明人 |
M·W·伦道夫;C·常;Y·何;W·张;E·F·朗奈 |
分类号 |
H01L29/792 |
主分类号 |
H01L29/792 |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
戈泊;程伟 |
主权项 |
1.一种半导体结构,包含:在半导体衬底(520)中形成的隔离的P型阱(510);在该隔离的P型阱(510)中形成的多个N型杂质集中区(550、555);在该隔离的P型阱(510)之上制造的且配置在这些N型杂质集中区(550、555)的两个之间的氮化物存储单元(560);以及连接到该隔离的P型阱(510)的电气接触(590)。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |