发明名称 二维扫描型光学质量检测装置
摘要 一种用于透镜光学质量检测的二维扫描型光学质量检测装置,由照明系统、光束扫描机构、被检透镜、图像接受系统以及系统控制与数据处理软件组成,其特征在于:所述的照明系统是一输出光束口径可调的准直光源;所述的光束扫描机构由圆形屏、第一步进电机、一维电动调整架和支架组成;所述的图像接受系统包括CCD摄像机、导轨、第二步进电机、支架和计算机,所述的计算机与第一步进电机、第二步进电机、第三步进电机和CCD摄像机通过信号线相连。本实用新型能对被检透镜进行全面检测,可以得到被检透镜的局部误差。采样光束口径大小可以随意调节。检测波长可变。减小了照明系统的设计与加工难度,提高了检测的效率,实现了哈特曼光阑检测法的智能化和数字化。
申请公布号 CN2748898Y 申请公布日期 2005.12.28
申请号 CN200420110960.5 申请日期 2004.11.17
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 黄惠杰;闫岩;刘丹;任冰强;赵永凯;黄立华;张维新
分类号 G01M11/02 主分类号 G01M11/02
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种用于透镜光学质量检测的二维扫描型光学质量检测装置,由照明系统(9)、光束扫描机构(10)、被检透镜(11)、图像接受系统(12)以及系统控制与数据处理软件组成,其特征在于:所述的照明系统(9)是一输出光束口径可调的准直光源;所述的光束扫描机构(10)由圆形屏(101)、第一步进电机(102)、一维电动调整架(103)和支架(104)组成,该圆形屏(101)安放在一支架(104)上,该支架(104)的一方固定该第一步进电机(102),第一步进电机(102)驱动该圆形屏(101)绕其轴旋转,该一维电动调整架(103)的两导轨(1031)沿径向固定在该圆形屏(101)上,该导轨(1031)上设置一滑块(1032),该滑块(1032)上承载所述的照明系统(9),所述滑块(1032)受第三步进电机(1033)驱动在导轨(1031)上移动;所述的图像接受系统(12)包括CCD摄像机(121)、导轨(122)、第二步进电机(123)、支架(124)和计算机(125),所述的CCD摄像机(121)通过支架(124)置于导轨(122)上,该导轨(122)的方向与被检透镜(11)的光轴平行,CCD摄像机(121)光轴与被检透镜(11)光轴和圆形屏(101)的转轴三者同轴,所述的计算机(125)与第一步进电机(102)、第二步进电机(123)、第三步进电机(1033)和CCD摄像机(121)通过信号线相连。
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