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发明名称
HOLOGRAPHIC PROJECTION DEVICE AND METHOD, AND EXPOSURE DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号
EP1203262(B1)
申请公布日期
2005.12.28
申请号
EP20000956390
申请日期
2000.08.03
申请人
XETOS AG
发明人
KNOCKE, FRANK
分类号
G03H1/22;G03H1/26;(IPC1-7):G03B21/60;G02B5/32;G03H1/30
主分类号
G03H1/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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