| 发明名称 |
Method for producing a quartz glass jig |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1471039(B1) |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
| 申请号 |
EP20040009276 |
申请日期 |
2004.04.20 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. |
发明人 |
SATO, TATSUHIRO |
| 分类号 |
C03B32/00;C03B20/00;C03C3/06;C03C15/00;C03C23/00;C30B35/00;(IPC1-7):C03B20/00;C03B25/04;C03B19/14;H01L21/68 |
主分类号 |
C03B32/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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