用于抗蚀剂剥离室的裸铝隔板

摘要

裸铝隔板适用于抗蚀剂剥离室并包括一层外部氧化铝层，所述外部氧化铝层可以是天生的氧化铝层，或者是通过用化学方法处理新的或用过的裸铝隔板所形成的一层，以便形成一层薄的外部氧化铝层。

主权项

1.一种用于等离子体加工设备的裸铝隔板，所述设备包括一个抗蚀剂剥离室和一个远距离等离子体源，该等离子体源可操作地将反应性成分供应到抗蚀剂剥离室中，其中隔板成形为由抗蚀剂剥离室的一个侧壁支承并形成抗蚀剂剥离室的顶壁，所述隔板包括气体通道用于分配反应性成分。