使用等离子清洁液晶显示器的装置

摘要

本发明涉及一种使用薄膜晶体管液晶显示器的装置。此装置包括一等离子处理器或是数个等离子处理器，其放置在前面阶段或是放置在前面阶段以及一高速喷洒器后面阶段，此高速喷洒器用来喷洒清洁液、蚀刻液、剥除液或是显影液。由于此装置的结构可以在同一薄膜晶体管液晶显示器上同时进行多种清洁功能，因此其可以有效的使用制造空间，并发挥最大的清洁效率。

主权项

1.一种制造薄膜晶体管液晶显示器的装置，其特征是，该装置包括：一承载器，其用以放置一薄膜晶体管液晶显示器并使该薄膜晶体管液晶显示器往一方向前进；一等离子处理器，其用以处理该薄膜晶体管液晶显示器的表面，其中该薄膜晶体管液晶显示器放置在该承载器上且正前进中，使用等离子移除该薄膜晶体管液晶显示器的表面上的一有机污染物或是活化该有机污染物以使其呈反应状态；至少一高速喷洒器，架设在该等离子处理器之后的该承载器上方，其使用喷洒液体的方式以移除被等离子处理活化的该有机污染物；以及一空气刀具，架设在该等离子处理器之后的该承载器上方，其系用以干燥残留在该薄膜晶体管液晶显示器上的一液体，且该薄膜晶体管液晶显示器放置在该承载器上且正前进中。