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发明名称 METHOD FOR FORMING OVERLAY VERNIER
摘要
申请公布号 KR20050122080(A) 申请公布日期 2005.12.28
申请号 KR20040047230 申请日期 2004.06.23
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 BANG, CHANG JIN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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