发明名称 |
对准键合精度检测系统 |
摘要 |
本发明涉及一种对准键合精度检测系统,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本发明利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力,CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量,以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点,将其与显微镜结合成一体,为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中,还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。 |
申请公布号 |
CN1233985C |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
申请号 |
CN03121169.0 |
申请日期 |
2003.03.27 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
张大成;李婷;王颖;王兆江;郝一龙;王阳元 |
分类号 |
G01B21/00;G02B21/00;G01R31/26 |
主分类号 |
G01B21/00 |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐宁;关畅 |
主权项 |
1、一种对准键合精度检测系统,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。 |
地址 |
100871北京市海淀区北京大学微电子学研究院 |