| 发明名称 | 用以补充主要过程控制器的辅助过程控制器 | ||
| 摘要 | 一种实施多变量过程控制系统的方法及装置。在第一时间期间，使用主要过程控制功能来处理工件。在处理该工件的该第一时间期间的至少一部分期间，执行辅助过程控制功能。该辅助过程控制功能可修改至少一个辅助控制参数。 | ||
| 申请公布号 | CN1714322A | 申请公布日期 | 2005.12.28 |
| 申请号 | CN200380103805.9 | 申请日期 | 2003.11.06 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | R·J·马克勒;T·J·桑德曼 |
| 分类号 | G05B19/418 | 主分类号 | G05B19/418 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
| 主权项 | 1.一种方法，包含下列步骤：在第一时间期间，使用主要过程控制功能来处理工件；以及在该第一时间期间的至少一部分期间，执行辅助过程控制功能，其中该辅助过程控制功能可修改至少一个辅助控制参数。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||