| 发明名称 |
PATTERNING PROCESS AND UNDERCOAT FORMING MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050121863(A) |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
| 申请号 |
KR20040046955 |
申请日期 |
2004.06.23 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
HATAKEYAMA JUN |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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