站立式微透镜及其制作方法

摘要

一种可整合于微光学或微光电系统的站立式微透镜及其制作方法，是利用微影制程形成的高分子材质柱状结构，将柱状结构顶端浸入均匀混合的液态高分子溶液中(如光阻、聚亚酰胺Polyimide等)，该液态高分子吸附于柱状结构物顶端，该附着于柱状结构顶端上的液态高分子，因表面张力内聚，其横截面呈弦圆状，通过热处理去除溶剂及固化后，即可作为微光学系统中的微透镜组件；通过高分子材质的选用，此站立式微透镜可由单一材质或由复合材质所构成。

主权项

1.一种站立式微透镜，其特征在于：它为附着于高分子柱状结构顶端上的横截面呈弦圆状的高分子材质双凸微透镜。