基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法

摘要

本发明涉及一种基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法，基板被支承在第二可动构件上所设置的多个基板支承销上。接着，第一及第二可动构件相互移动，使得多个基板支承销接近第一可动构件上所设置的多个基板支承销。接着，在基板被保持于基板支承销之间的状态下，第一及第二可动构件被翻转。而且，第一及第二可动构件相对移动，使得多个基板支承销相互离开。

主权项

1、一种基板翻转装置，是使基板翻转的基板翻转装置，其特征在于，包括：相互相对向设置的第一及第二可动构件；设置在所述第一可动构件上、支承基板的外周部的多个第一支承部；设置在所述第二可动构件上、支承基板的外周部的多个第二支承部；驱动装置，其使所述第一及第二可动构件的至少一方相对于另一方而相对移动，从而选择性地转移到所述多个第一支承部和所述多个第二支承部相互离开的第一状态、以及所述多个第一支承部和所述多个第二支承部相互接近的第二状态；翻转装置，其在所述第二状态下，使所述第一及第二可动构件翻转。