发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。本发明的目的在于:对于将CMOS逻辑部和用途各异的多个DRAM部都放在同一个半导体衬底上的DRAM混载装置,使其能够在确保良好的信号保持特性的同时,实现低耗电量及高速的性能。使构成动作速度较快的第1DRAM部102的存储单元的容量,大于构成动作速度较慢的第2DRAM部103的存储单元的容量。
申请公布号 CN1713390A 申请公布日期 2005.12.28
申请号 CN200510009421.1 申请日期 2005.02.08
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 柴田义行
分类号 H01L27/108;H01L27/10;H01L27/092;H01L23/52;H01L21/28;H01L21/8234;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1、一种半导体装置,其特征在于:包括:设置在半导体衬底上且由多个第1存储单元构成的第1DRAM部,以及设置在上述半导体衬底上且由多个第2存储单元构成的第2DRAM部;上述第1DRAM部的动作速度,大于上述第2DRAM部的动作速度;上述第1存储单元的容量,大于上述第2存储单元的容量。
地址 日本大阪府