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发明名称 Semiconductor device ( pressure sensor ) allowing testing of diaphragm and cavity
摘要
申请公布号 EP1310781(B1) 申请公布日期 2005.12.28
申请号 EP20020023284 申请日期 2002.10.17
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SAUTTER, HELMUT;SCHATZ, FRANK;GRAF, JUERGEN;ARTMANN, HANS;GOMEZ, UDO-MARTIN;KEHR, KERSTEN
分类号 G01L27/00;(IPC1-7):G01L27/00 主分类号 G01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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