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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PREVENTING POLLUTION WAFER
摘要
申请公布号
KR20050121884(A)
申请公布日期
2005.12.28
申请号
KR20040046980
申请日期
2004.06.23
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
NAM, SANG DEUK
分类号
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
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