具有构型改变的压板表面的压板组件

摘要

说明了一种用来改善晶片抛光装置(10)性能的装置。该装置包括一个支撑部件中的压板，其具有多个流体通道(34)，并且至少具有一个位于压板(30)表面上一部分的构型改变区域(52)。

主权项

1.在抛光装置上用于支撑抛光部件的压板组件之中，一种压板包括：一个具有前缘和后缘的基本为平面的表面，其中后缘位于所述基本为平面的表面上与前缘相对的一端；多个布置在压板的前缘和后缘之间的流体通道，其中每个所述流体通道包括由所述基本为平面的表面限定的各自的通路；以及至少一个位于压板上的构型改变的区域，其中，所述至少一个构型改变区域的每个包括相对于基本为平面的表面的一个凸起构型区域和一个凹陷构型区域的一个。