耐熔微掩模法制备高温超导Josephson结的方法

摘要

耐熔微掩模法制备高温超导Josephson(约瑟夫森)结的方法，利用耐融微掩模法制备，选用常规或双晶或台阶基片，用原位制备法在基片上制备CeO₂/YBCO双层膜，YBCO作为底层介质膜同时起到悬挂微掩模层的支撑作用，在上述双层膜上制备光刻胶掩模，曝光显影后得到微桥图形；用等离子刻蚀法将微桥区的CeO₂膜刻去制备出CeO₂掩模；用稀磷酸腐蚀微桥区部分的YBCO膜，使得底层的YBCO彻底去除干净；放入成膜系统中生长出所需要图形的高温超导薄膜，直接形成Josephson结。利用此方法可以避免刻蚀工艺对超导器件性能的影响，制备高质量的高温超导Josephson结。

主权项

1、耐熔微掩模制备高温超导约瑟夫森结的方法，其特征是利用耐熔微掩模法制备，选用常规或双晶或台阶基片，用原位制备法在基片上制备CeO2/YBCO双层膜，YBCO作为底层介质膜同时作为悬挂微掩模层支撑高温超导薄膜，CeO2薄膜是作为刻蚀YBCO膜时的光刻掩模层；在上述双层膜上制备光刻胶层，用微桥掩模的负版做掩模板，曝光显影光刻胶层后得到微桥区图形的光刻胶掩模；用等离子刻蚀法将微桥区的CeO2膜刻去制备出CeO2掩模；用稀磷酸腐蚀微桥区图形部分的YBCO膜，使得底层的YBCO彻底去除干净；放入脉冲激光淀积成膜系统中生长出所需要图形的高温超导薄膜，直接形成约瑟夫森结。